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| inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552 |
| 點擊次數(shù)：921 更新時間：2024-03-19 |
inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552
inficon熱電離真空計BPG552技術特點： 對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。 inficon熱電離真空計BPG552優(yōu)點 ü 雙量規(guī)（2 個傳感元件）可實現(xiàn)寬測量范圍、降低成本并節(jié)省空間 ü Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲 ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護以避免燈絲過早燒毀 ü 自動高真空皮拉尼調節(jié)減少了操作員干預 ü 電隔離電子器件以避免雜散電流 ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結 ü 由于可拆卸校準數(shù)據(jù)芯片，可烘烤性更長 ü 設定點繼電器 ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面 ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT® ü 可與 VGC50x 控制器系列結合使用 ü 向后兼容 BPG402 ü RoHS 合規(guī)性 inficon熱電離真空計BPG552典型應用 · 半導體工藝中的壓力測量 · 工業(yè)涂料 · 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制 inficon熱電離真空計BPG552規(guī)格 測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2） 5×10 -10 … 1000 毫巴 準確性 1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 讀數(shù) 1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 讀數(shù)的±30% 重復性：讀數(shù)的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后） 暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢 inficon熱電離真空計BPG552備件零件號 描述 354-420 BPG552 備用傳感器頭，KF25 354-421 BPG552 備用傳感器頭，CF40 |
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